大型顕微鏡・大型検査装置（特注製品）
大型顕微鏡は、お客様のご用途に応じたステージサイズに対応可能です。
また、光学顕微鏡の他に、膜厚測定・レーザーマーキング・レーザー加工機なども搭載可能です。
AGVやMGVの搬送系からの受け渡しも、ご相談をお請け致します。
大型顕微鏡・大型検査装置 製作例
卓上型大型顕微鏡 AR-5568M
- 反射照明専用
- ワーク 最大:550ｘ650(mm)
- X軸顕微鏡移動、Y軸ステージ
- XYストローク：550ｘ680(mm)
- デジタルカメラの装着により、画像観察や画像計測が可能
大型顕微鏡 AR-6060A
- 反射/透過照明対応
- ワーク 600ｘ600(mm) 対応
- XYZ電動駆動
- XYストローク：600ｘ600(mm)
- XYデジタルスケールカウンタ付き
大型顕微鏡 AR-12015M
- 反射/透過照明対応
- ワーク 最大 1,200ｘ1,150(mm) 対応
- XYストローク：1,200ｘ1,150(mm)
- デジタルカメラの装着により、画像観察および画像保存が可能
大型顕微鏡 AR-7060M
- 透過照明対応
- ワークサイズ 最大 700ｘ600(mm) 対応
- XY軸にはリニアスケールを装備
- デジタルカメラの装着により、画像観察および画像保存が可能
- 各種顕微鏡搭載可能
マイクロマニピュレーションシステム
AR-HS612
AR-HS612
- 高倍率マイクロスコープ AR1260
- XYZ高性能電動マニピュレーター HS6-MCL
- 分解能：各軸0.01μm
- XYZθ試料ステージ
- 3D画像合成プログラム
外観検査装置 AR-17013
- 手動型から自動型まで対応可
- ワークサイズ 最大 1,700ｘ1,300(mm) 対応
- 顕微鏡＋TVカメラ（反射透過照明）
- ガラス基板受入上下機構付きコロ
- AGV、MGV対応可能
- 除振機構付き
レーザーリペア／マーキング装置
回折限界に近似の微小スポットが得られます
（100X対物使用時で0.3μm以下）
- 接眼から目視観察しながらも、レーザー照射が可能です
- 試料の深さ方向に選択的照射が可能です
- ダイレーザー採用。目的により波長を変えることができます（選択可能範囲：365～900nm）
- パルスエネルギー 50μJ以上、パルス幅 2-6nsec.
※本ページの製品は、まずは、御希望仕様をお伺いしたうえで、お打ち合わせが必要です。 お見積り提出までお時間頂戴致します。
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