ウエハ自動搬送システム

ウエハローダー本体

自動ステージ

検査レシピ

EMO対応全カバー

a

※組み合わせ例※
上記●の組み合わせで、
6インチウエハ 25枚自動搬送撮影システムになります。
a-2+b+b-2+f+g+h+k（お客様顕微鏡）

※検査内容により、ソフト改造可能
※ソフトデモ後のお打ち合わせ必須

（１）全自動モード(全数)、全自動モード(1枚)、
（２）ステップモード

上記二種類から選択が可能

（１）全自動モード（全数・1枚）

・ウェハ供給後、自動的にターゲットマークの位置へ移動
・ターゲットマーク検出後、回転補正を実施
・レシピに設定された座標および検査有無の条件に
　従って、指定位置１から順番に、すべての画像を
　保存します
（撮影倍率指定可能）
・全数、１枚の撮影が終了後、各々の判定が可能

（２）ステップモード（マニュアル）

・ウェハ供給後、自動的にターゲットマークの位置へ移動 　　
・ターゲットマーク検出後、回転補正を実施 　　
・１shot毎に判定が可能
（判定結果の複数選択可能）

ウエハマップ

外観検査

＊判定結果例

・ＯＫ：グレードＡ、Ｂ、Ｃ等に振り分け
・ＮＧ：シミ、欠け、剥がれ、異物、その他等に振り分け
・判定保留

※上記のような判定項目の設定が可能
（お客様のご要求により項目変更は可能）

標準仕様
・ウエハキャリアマッピング
・ウエハ飛び出し検出
・エラーナンバー表示

**オプション**
・静電気対策
（イオナイザー）
・クリーン度向上対策
（HEPA/ULPA）
・サンプルサイズ
・形状対応
・ウエハサイズ共用
（2種まで）
・複数カセット対応