マスクレス露光装置・顕微鏡LED露光ユニット UTAシリーズ 製品情報
UTAシリーズは、DLPプロジェクターと金属顕微鏡との組み合わせにより、従来のシステムよりもはるかにリーズナブルな価格を実現した、縮小投影型のマスクレス露光装置です。(マスクレスフォトリソグラフィ用パターン投影露光装置)
専用に開発したソフト上で自由なパターン作成が可能です。
論文のご案内
名古屋大学教授長田実様を中心に行われた研究の一部でも、弊社の「マスクレス露光装置・顕微鏡LED露光ユニット UTAシリーズ」をご利用頂いております。
論文タイトル:
「Damage-free LED lithography for atomically thin 2D material devices」
URL:https://doi.org/10.1038/s41598-023-29281-w
顕微鏡LED露光ユニット(マスクレス露光装置)概要
・顕微鏡LED露光ユニット UTAシリーズは、マスクが不要なフォトリソグラフィー用パターン投影露光装置です。(マスクレス露光装置)
・金属顕微鏡とLED光源DLPプロジェクタを使用し、 解像度 数ミクロンの任意のパターンをレジスト塗布した基板上に投影し、露光を行います。
・パターンは、パソコン上で自由に作成できます。
・さまざまな大きさ、形状の層状物質単結晶薄片上に大気中で電極を形成することができるため、 電子線リソグラフィーよりも遙かに安価かつ簡便です。高価な電極パターンマスクを作製する必要もありません。(数ミクロン程度の解像度で十分な場合)
露光前のテスト投影(赤光の為、感光しません) |
露光時の写真(露光時間数秒) |
顕微鏡LED露光ユニット(マスクレス露光装置) 用途例
- 薄膜FETやホール効果測定試料の電極形成
- グラフェン・モリブデン原石から剥(薄)片を取り出し、原石の特性評価を行うための電極形成
- 研究開発用途向けのパターン形成
顕微鏡LED露光ユニット(マスクレス露光装置) 特徴
- 顕微鏡とDLPの組合せのため、既存のマスクレス露光装置より安価にシステム構築が可能です。
- 使い勝手のよい専用ソフトで、かんたんに露光パターンを作成可能です
- 対物レンズの倍率で微細なパターンから広範囲の一括露光が可能です
- 所有の金属顕微鏡に取り付けることも可能です(条件によります)
- 解像度 数ミクロン(数ミクロンパターン成形)も可能です
露光ユニットUTAシリーズ使用による電極作成例画像
◎ 試料 |
埼玉大学大学院理工学研究科 上野研究室にご提供いただいた、電極作成例の画像です。 ■ 写真はクリックで拡大します |
◎ 安全光でのパターン照射 |
◎ パターン照射 |
◎ 現像後 |
◎ 現像後 |
◎ リフトオフ後 x20 |
◎ リフトオフ後 x100 |
◎ リフトオフ後 x100 スケールバー付き |
◎ リフトオフ後 x100 各スケール付き |
※ 本製品について、仕様・外観を予告無く変更する場合があります。予めご了承下さい。
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