フォトリソ用卓上型現像装置 DV-200
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| 構成 | ||
| 本体部 | チャンバー | ステンレス製チャンバー |
| 回転機構 | ３段の耐溶剤軸シール処理 回転軸に吸着用真空ライン施工処理 |
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| 薬液圧送 | マイクロポンプを現像液用とリンス液用と２基搭載 （タンク圧送もできます） |
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| 薬液吐出 | ①スプレー吐出 フルコーン又はフラットコーンのステンレスノズル（又はセラミックノズル） ②パドル吐出 ストレートノズル 多段ステップ回転式 （０回転プログラム可能） ③スイングノズル式 （スプレー吐出時） 対象基板の直径によりノズル振角設定。薬液の吐出を行いながらスイング動作をします。 |
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| 制御部 | シーケンス | ステップ数 ： ２４ステップ プログラムモード ： １０モード （オプション ： ステップ数 ９６、レシピコピー機能付） |
| インターロック | ● 真空吸着確認センサー ● 処理室カバーインターロック ● ノズル移動オーバーランリミッタ |
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| オプション | ① 薬液温度管理システム （加圧方式） ② 各種基板ホルダー （吸着式、メカチャック式） ③ ミストトラップ ④ 真空吸着用真空ポンプ ⑤ 設置用作業台 |
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| 仕様 | |
| 処理枚数 | １５０φ又は１００Ｓｑ基板 （最大）：１枚 １インチφ～６インチφ：１枚 |
| プロセス | 現像液：１系統 リンス：１系統 （マイクロポンプによる脈動のない圧送ができます） |
| 使用薬液 | アルカリ系現像液、アルコール系溶剤 |
| 処理時間設定 | 最小：１秒 |
| 基板回転数 | ０～３０００ｒｐｍ 任意設定 |
| スイングノズル移動量 | プログラムによる振角任意設定 センタ固定もできます |
| 寸法・重量 | 本体部：５５０Ｗｘ４００Ｄｘ４４０Ｈ （ｍｍ） 〔カバー開閉時７４０Ｈｍｍ〕 約３３Ｋｇ |
| 電源 | ＡＣ１００Ｖ ４Ａ |
| 真空 | ３５０ｍｍＨｇ以下 |
| 局所排気 | ０．３ｍ3／分 |
フォトリソ用卓上型現像装置 DV-3000
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| 構成 | ||
| 本体部 | チャンバー | オールステンレス製チャンバー |
| 回転機構 | ３段の軸シール処理 回転軸に吸着用真空ライン施工処理 |
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| 薬液圧送 | 加圧タンク方式 | |
| 薬液吐出 | ①スプレー吐出 （フルコーン円錐ノズル） ②パドル吐出 (ストレートチューブノズル） ③２アームスイングノズル式 （スプレー・パドル吐出時） 対象基板の直径によりノズル振角設定。薬液の吐出を行いながらスイング動作をします。１アーム単独又は２アームスイング動作 |
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| 制御部 | シーケンス | ステップ数 ： ４８ステップ プログラムモード ： １０モード （オプション ： レシピコピー機能付） |
| インターロック | ● 真空吸着確認センサー ● 処理室カバーインターロック ● ノズル移動オーバーランリミッタ |
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| オプション | ① 薬液圧送用加圧タンク ② 薬液温度管理システム （加圧方式） ③ 各種基板ホルダー （吸着式、メカチャック式） ④ Ｎ 2 ブロー機能 ⑤ 薬液系統追加 ⑥ パドルノズル ⑦ ミストトラップ ⑧ 真空吸着用真空ポンプ ⑨ 設置用作業台 |
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| 仕様 | |
| 処理枚数 | ３００φ又は２２０Ｓｑ基板 （最大）：１枚 １インチφ～１２インチφ：１枚 |
| プロセス | 現像：１系統 （２ノズル） リンス：１系統 （２ノズル） バックリンス：１系統 |
| 使用薬液 | アルカリ系現像液 |
| 処理時間設定 | １秒～９９９秒 |
| 基板回転数 | ０～３０００ｒｐｍ 任意設定 |
| スイングノズル移動量 | プログラムによる振角任意設定 センタ固定もできます |
| 寸法・重量 | 本体部：７２０Ｗｘ５２０Ｄｘ５００Ｈ（ｍｍ） 〔カバー開閉時９１０Ｈｍｍ〕 約６０Ｋｇ |
| 電源 | ＡＣ２００Ｖ ３相１５Ａ |
| 真空 | ３５０ｍｍＨｇ以下 |
| 局所排気 | ０．３ｍ3／分 |
※ 本製品について、仕様・外観を予告無く変更する場合があります。予めご了承下さい。
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